簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "劉孟昆".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="電極設計。"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢： 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務 ：

    我的檢索策略

  • 排序：

      
    • 儲存 列印 E-mail 收藏

    已勾選0筆資料

      本頁全選

    1
    電致動力應用於銅化學機械拋光平坦化效應研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： 蔡岳勳   指導教授： 陳炤彰
    • 半導體製程中昂貴複雜及無可取代之製程-化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Plolishing/Planarization, CMP)，因具可有效地解決銅導線化及特徵尺寸進…
    • 點閱：288  下載：7 
    1